Durchsatz braucht Automation
Konkret geht es darum, den Impfkristall in der erstarrenden Schmelze kontinuierlich zu drehen und gleichzeitig mit genau dem Tiegel-Temperaturprofil angepasster Geschwindigkeit nach oben zu ziehen. Ziel unseres Automatisierungskonzepts ist es, die Geschwindigkeiten perfekt auf die Tiegeltemperatur abzustimmen und Abweichungen von der Solltemperatur durch höchste Spannungsqualität bei der Versorgung der Tiegelheizung zu minimieren. So lässt sich der gewünschte Kristalldurchmesser dank der präzisen Regelung über den gesamten Ziehvorgang sicher erreichen – in optimaler Qualität für die weiteren Prozesse der Waferherstellung.
Mit feinfühliger Regelung auf der Sonnenseite
Konkret geht es darum, den Impfkristall in der erstarrenden Schmelze kontinuierlich zu drehen und gleichzeitig mit genau dem Tiegel-Temperaturprofil angepasster Geschwindigkeit nach oben zu ziehen. Ziel unseres Automatisierungskonzepts ist es, die Geschwindigkeiten perfekt auf die Tiegeltemperatur abzustimmen und Abweichungen von der Solltemperatur durch höchste Spannungsqualität bei der Versorgung der Tiegelheizung zu minimieren. So lässt sich der gewünschte Kristalldurchmesser dank der präzisen Regelung über den gesamten Ziehvorgang sicher erreichen – in optimaler Qualität für die weiteren Prozesse der Waferherstellung.
Skalierbare Lösungen für jede Aufgabe
Profitieren Sie von den zahlreichen Vorteilen, die wir Ihnen als erfahrener Partner für die Automatisierung bieten können.
- Genaue Temperatur und Prozess-Regelung basierend auf der SIMATIC S7-1500
- Hohe Verfügbarkeit durch zuverlässige Servo-Antriebstechnik
- Präzise Motion-Control-Funktionalitäten für gleichmäßiges Wachstum der Ingots
- Skalierbare Technologien, von Standardlösungen bis zu High-End-Anwendungen
- Konstant gleichbleibende Qualität des Ingots
- Kostengünstige und wirtschaftliche Produktion
So wichtig wie das Sonnenlicht: optimale Power Quality
Für die Konstanz aller Bewegungen in einer Waferfertigungsanlage ist eine hohe Spannungsqualität unerlässlich – denn schwankt die Spannung, dann verändern sich auch Bewegungsparameter wie Umdrehungszahl oder Drehmoment.
Konstanter Gleichstrom
SIPS (Silicon Industry Power Supply) ist eine maßgeschneiderte Lösung für die Stromversorgung der Tiegelheizung von Einkristall-Ziehanlagen in der Solar- und Halbleiterindustrie. Die SIPS ist eine speziell für die Speisung einer Tiegelheizung entwickelte Gleichstrom-Spannungsversorgung. Sie lässt sich applikationsspezifisch an die Kundenanforderungen in der Solar- und Halbleiterindustrie anpassen, z. B. in Anzahl und Leistung der DC-Ausgänge.
Die SIPS erfüllt die Anforderungen des Ziehprozesses für Einkristalle:
- Niedrige TCO (Total Costs of Ownership)
- Hohe Systemverfügbarkeit ohne kostspielige Unterbrechungen – durch modularen, redundanten Aufbau
- Hoher Wirkungsgrad und optimale Betriebsdaten auch im Teillastbereich – für deutlich niedrigere Kosten
- Vereinfachte Implementierung – Kommunikation über PROFIBUS/PROFINET
- Geringe Netzrückwirkungen, dadurch verringerter Aufwand für Kompensationsanlagen
- Lange Lebensdauer durch Kühlsystem aus korrosionsfreiem Stahl
Eingesetzte Produkte
SIMATIC S7-1200 Basic Controller, SIMATIC S7-1500 Advanced Controller und SIMATIC S7-1500 Software Controller für PC-basierte Automatisierung
PROFINET und PROFIsafe zur Kommunikation mit den Antrieben und den dezentralen Peripheriebaugruppen SIMATIC ET200SP
SINAMICS V90 PN – Einzelantriebe mit PROFINET-Schnittstelle und SIMOTICS S-1FL6 Servomotoren für höchste Präzision der Tiegel-Verstellachsen
oder
SINAMICS S210 – Einzelservoantriebe mit PROFINET-Schnittstelle und SIMOTICS S-1FK2 Servomotoren für hochgenaue Achsbewegungen. Das Antriebssystem zeichnet sich durch seine einfache Projektierung und Inbetriebnahme aus.
Securityhinweis
Um Anlagen, Systeme, Maschinen und Netzwerke gegen Cyber-Bedrohungen zu sichern, ist es erforderlich, ein ganzheitliches Industrial Security-Konzept zu implementieren (und kontinuierlich aufrechtzuerhalten), das dem aktuellen Stand der Technik entspricht. Die Produkte und Lösungen von Siemens formen nur einen Bestandteil eines solchen Konzepts. Weitergehende Informationen über Industrial Security finden Sie unter:
